產品型號

MQ-KM1

MQ-KM2

MQ-KM3

真空室尺寸

φ1000×1000mm

φ2000×2000mm

φ3000×3000mm

真空度

≤5×10-5Pa

工作真空度

≤1.0×10-3Pa

制冷方式

載冷劑方式

復合工質方式

液氮制冷方式

熱沉+冷板

熱沉+加熱籠

液氮熱沉+加熱籠

溫度范圍

-75℃～+130℃

-110℃～+150℃

-173℃～+170℃

溫度穩定性

≤1℃/h

≤1℃/h

≤1℃/h

溫度均勻度

≤±2.0℃

≤±3.0℃

≤±5.0℃

控溫精度

±1℃

±1℃

±1℃

升降溫速率

≥1℃/Min

真空系統漏率

＜5×10-9 Pa.m3/s

噪音

真空抽氣設備(bei)噪音＜70dB

抽真空時間

常(chang)溫(wen)空載情(qing)況下能夠在4小時內將(jiang)容器抽至優于1.0×10-3Pa

溫度檢測系統

系(xi)統(tong)采用多路(lu)Pt100溫度巡檢(jian)表(biao)測(ce)量多點(dian)溫度

控制監測系統

主(zhu)要包括工業控制(zhi)計(ji)算(suan)機(ji)、控制(zhi)機(ji)柜、PLC、儀表、各(ge)種(zhong)操作控制(zhi)開關等

控制器

西門(men)子(zi)可編程控制器、通訊(xun)模(mo)塊、通訊(xun)電纜

電源電壓

380±10％ VAC，3L+N+G

標準配置

樣(yang)品(pin)拖架1套、操作手冊1份(fen)

裝置

相(xiang)序(xu)保護(hu)、漏電保護(hu)、可靠接地、緊急斷電按鈕、過壓、過流、超(chao)溫報(bao)警(jing)和保護(hu)控制

環境要求

環境溫度：5～35℃，相對(dui)濕度：≤40%RH，無強烈震動(dong)、電磁輻射，周圍無粉塵及腐蝕性物質；

說明：1、性能參數均在環境溫度為25℃，真空室(shi)空載測(ce)試；

2、可根據用戶的(de)具體(ti)要求(qiu)非標定做；

1. 本技(ji)術信息，如(ru)有變動恕不另行(xing)通知(zhi)。