產品型號

MQ-KM1

MQ-KM2

MQ-KM3

真空室尺寸

φ1000×1000mm

φ2000×2000mm

φ3000×3000mm

真空度

≤5×10-5Pa

工作真空度

≤1.0×10-3Pa

制冷方式

載冷劑方式

復合工質方式

液氮制冷方式

熱沉+冷板

熱沉+加熱籠

液氮熱沉+加熱籠

溫度范圍

-75℃～+130℃

-110℃～+150℃

-173℃～+170℃

溫度穩定性

≤1℃/h

≤1℃/h

≤1℃/h

溫度均勻度

≤±2.0℃

≤±3.0℃

≤±5.0℃

控溫精度

±1℃

±1℃

±1℃

升降溫速率

≥1℃/Min

真空系統漏率

＜5×10-9 Pa.m3/s

噪音

真空(kong)抽氣設(she)備噪音＜70dB

抽真空時間

常溫空載情況(kuang)下(xia)能夠在4小時內將容器抽至優(you)于1.0×10-3Pa

溫度檢測系統

系統采用多路Pt100溫(wen)度巡(xun)檢表(biao)測量多點(dian)溫(wen)度

控制監測系統

主要包括工業控(kong)制(zhi)計算(suan)機(ji)、控(kong)制(zhi)機(ji)柜(ju)、PLC、儀表、各(ge)種操(cao)作(zuo)控(kong)制(zhi)開關(guan)等

控制器

西(xi)門(men)子可編程控制器、通訊(xun)模塊(kuai)、通訊(xun)電(dian)纜

電源電壓

380±10％ VAC，3L+N+G

標準配置

樣品拖(tuo)架1套、操作手冊(ce)1份

裝置

相序保護(hu)、漏電保護(hu)、可靠接地、緊急斷電按鈕(niu)、過(guo)壓(ya)、過(guo)流、超溫報警和保護(hu)控制

環境要求

環境溫(wen)度(du)：5～35℃，相對濕度(du)：≤40%RH，無強烈震動、電磁(ci)輻射，周(zhou)圍(wei)無粉塵(chen)及腐蝕性物質；

說明：1、性能參數(shu)均在環(huan)境溫度為25℃，真空室空載測(ce)試；

2、可根(gen)據用戶的具體要求(qiu)非標定(ding)做；

1. 本(ben)技術信息(xi)，如有(you)變動(dong)恕(shu)不另行通知。