產品型號

MQ-KM1

MQ-KM2

MQ-KM3

真空室尺寸

φ1000×1000mm

φ2000×2000mm

φ3000×3000mm

真空度

≤5×10-5Pa

工作真空度

≤1.0×10-3Pa

制冷方式

載冷劑方式

復合工質方式

液氮制冷方式

熱沉+冷板

熱沉+加熱籠

液氮熱沉+加熱籠

溫度范圍

-75℃～+130℃

-110℃～+150℃

-173℃～+170℃

溫度穩定性

≤1℃/h

≤1℃/h

≤1℃/h

溫度均勻度

≤±2.0℃

≤±3.0℃

≤±5.0℃

控溫精度

±1℃

±1℃

±1℃

升降溫速率

≥1℃/Min

真空系統漏率

＜5×10-9 Pa.m3/s

噪音

真(zhen)空抽氣設備噪音(yin)＜70dB

抽真空時間

常溫空載情況下能夠在4小時內將容(rong)器抽至優于1.0×10-3Pa

溫度檢測系統

系統采用多(duo)路Pt100溫度巡(xun)檢表測(ce)量多(duo)點溫度

控制監測系統

主要(yao)包括工業控(kong)(kong)制計(ji)算機(ji)、控(kong)(kong)制機(ji)柜、PLC、儀表、各種操作(zuo)控(kong)(kong)制開關等(deng)

控制器

西門子可編程控制器、通訊模塊、通訊電纜

電源電壓

380±10％ VAC，3L+N+G

標準配置

樣品(pin)拖架1套、操(cao)作手冊1份(fen)

裝置

相(xiang)序保(bao)護、漏(lou)電保(bao)護、可靠(kao)接地、緊急斷電按鈕、過(guo)壓、過(guo)流、超溫(wen)報警和保(bao)護控制

環境要求

環境溫度：5～35℃，相對濕度：≤40%RH，無強烈震動(dong)、電磁輻射，周圍無粉塵及腐(fu)蝕(shi)性物質(zhi)；

說明：1、性能參數(shu)均(jun)在環境溫度為25℃，真空(kong)室空(kong)載測試；

2、可根據用戶的具(ju)體要(yao)求非標定做；

1. 本技術信息，如有變(bian)動恕不另行通知。